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高功率納秒激光器
InnoSlab短脈沖和超短脈沖激光器標準產(chǎn)品包括以下各種電光調(diào)Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介質(zhì), 具有不同的脈沖能量、輸出功率和波長:
· 光束質(zhì)量: M² < 2
· 脈沖能量可達到 60mJ
· 脈寬可達到 4ns以下
· 峰值功率可達到 7MW
· 脈沖重復頻率可到 150 kHz
· 平均功率可達 600W
· 波長 1064、 532、 355、266nm
高功率納秒激光器InnoSlab激光器和放大器的一個與眾不同的杰出特性在于其光束形狀可量身定制: 從圓形高斯模式到一維線狀平頂以及兩維方形平頂?shù)鹊取?/span>
應用領域：
· 光伏行業(yè)，例如硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導電層和絕緣層的燒蝕
· 顯示領域，如導電層的織構化和玻璃切割
· 玻璃工業(yè)，如微鉆孔和高速亞表面內(nèi)雕
· 電子工業(yè)，例如對印刷電路板的切割和鉆孔
· 工具制造和機械工程，如三維燒蝕快速成形
技術參數(shù)
型號 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波長（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束質(zhì)量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
zui大平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
zui大重頻頻率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
zui大單脈沖能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
zui小脈寬（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量穩(wěn)定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠場）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
發(fā)散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
預熱時間（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
